近日，科技部高技术研究发展中心对2021年度“变革性技术关键科学问题”重点专项拟立项项目进行了公示。我院黄文教授负责的“基础三维无源元件的单片高集成度自卷曲技术”项目获批立项（2021YFA0715300），项目总经费1876万元。该项目由合肥工业大学牵头，项目参加单位有复旦大学、上海交通大学、电子科技大学、深圳大学和中国科学院空天信息创新研究院。我院桑磊副教授为该项目合肥工业大学课题负责人。

“变革性技术关键科学问题”重点专项属于战略性前瞻性重大科学问题领域。专项以国家重大战略需求为牵引，以解决重大共性科学问题为导向，围绕可能产生变革性技术的前沿交叉基础研究进行战略部署，服务于国家创新驱动发展战略。

图1  氮化硅薄膜自卷曲技术示意图

图2  2021年度“变革性技术关键科学问题”重点专项拟立项项目公示清单（部分）

该项目围绕如何突破单片高电磁能量密度基础无源元件的制备理论和技术这一重大科学问题，提出了兼容常规半导体平面工艺的氮化硅薄膜自卷曲技术。预期成果可实现三维结构的单片基础无源元件，突破当前基础无源元件小型化技术瓶颈，变革其研制方法。这对防范化解在先进高集成度基础无源电子元件研制领域可能出现的“卡脖子”问题具有重要意义。

（李建设/文/图 赵金华/审核）